特長:

ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モーターを採用しています。
低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです。
大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています。
メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです。


用途:

蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置。
分析機器、リークテスト装置。
真空乾燥、ガス置換など各種真空装置。


仕様:

排気速度(L/min)50/60Hz:1500/1800
到達圧力(Pa):0.67
吸気口径(mm):VG50相当
電源(V):三相マルチ
使用油:R-7
全幅×全長×全高(mm):280×831×371
寸法(mm):280×831×371
全閉外扇三相マルチ電圧モーター50Hz:200~240/380~415V対応、60Hz:200~240/380~460V対応
サーマルプロテクタなし
排気口:VG40相当
2段式ベーン型


材質/仕上:

シリンダ:鋳鉄
ポンプケース:アルミ鋳物


注意:

VDポンプにはオイルミストトラップは付属されておりません。
オイルミストトラップのご購入を推奨します。
出荷時は200Vクラスの△結線となっています。
本製品を日本国外へ輸出する場合は手続きが必要となるためご一報下さい。


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